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青島泰成電力
1高壓控制設備
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高壓控制設備主要實現(xiàn)以下功能：
1、通訊功能：通過USB模塊實現(xiàn)微機械傳感器與上位機程序之間的數(shù)據(jù)傳遞。
2、控制功能：采用數(shù)字信號處理模塊按照傳輸數(shù)據(jù)控制轉(zhuǎn)換器輸出靜電力驅(qū)動所需電壓。
3、放大功能：將電壓同步放大至滿足靜電力驅(qū)動所需范圍。
靜電力驅(qū)動有著功耗低、響應時間短、宜于完成高頻率的驅(qū)動而且結(jié)構(gòu)易于實現(xiàn)的特點，從而廣泛應用于微變形鏡、微型光譜儀、微陀螺、微諧振器等MEMS器件。然而采用靜電力驅(qū)動器件常常需要十分高的恒壓電源，所以可以設計一種高壓控制系統(tǒng)，滿足驅(qū)動要求，使得微機械傳感器的器件廣泛使用。
數(shù)字信號處理模塊由定點數(shù)字信號處理器TMS320F2812和D/A轉(zhuǎn)換器AD5381組成，其中2812具有高的處理速度、強大的處理功能，時鐘頻率可達150MHz，片上包含有128k的Flash、128k的ROM以及18k的RAM，滿足程序編寫的需要，同時還包含豐富的外設接口和事件管理器，十分適合于大批量數(shù)據(jù)處理的控制場合。而AD5381是一款理想的多通道數(shù)模轉(zhuǎn)換器，它具有40個數(shù)模轉(zhuǎn)換通道，12位的分辨率，具備并行、串行以及I2C三種數(shù)據(jù)傳輸方式，單通道轉(zhuǎn)換時間可以達到30ns，可以滿足模塊要求。
1、通訊功能：通過USB模塊實現(xiàn)微機械傳感器與上位機程序之間的數(shù)據(jù)傳遞。
2、控制功能：采用數(shù)字信號處理模塊按照傳輸數(shù)據(jù)控制轉(zhuǎn)換器輸出靜電力驅(qū)動所需電壓。
3、放大功能：將電壓同步放大至滿足靜電力驅(qū)動所需范圍。
靜電力驅(qū)動有著功耗低、響應時間短、宜于完成高頻率的驅(qū)動而且結(jié)構(gòu)易于實現(xiàn)的特點，從而廣泛應用于微變形鏡、微型光譜儀、微陀螺、微諧振器等MEMS器件。然而采用靜電力驅(qū)動器件常常需要十分高的恒壓電源，所以可以設計一種高壓控制系統(tǒng)，滿足驅(qū)動要求，使得微機械傳感器的器件廣泛使用。
數(shù)字信號處理模塊由定點數(shù)字信號處理器TMS320F2812和D/A轉(zhuǎn)換器AD5381組成，其中2812具有高的處理速度、強大的處理功能，時鐘頻率可達150MHz，片上包含有128k的Flash、128k的ROM以及18k的RAM，滿足程序編寫的需要，同時還包含豐富的外設接口和事件管理器，十分適合于大批量數(shù)據(jù)處理的控制場合。而AD5381是一款理想的多通道數(shù)模轉(zhuǎn)換器，它具有40個數(shù)模轉(zhuǎn)換通道，12位的分辨率，具備并行、串行以及I2C三種數(shù)據(jù)傳輸方式，單通道轉(zhuǎn)換時間可以達到30ns，可以滿足模塊要求。